В Институте физики полупроводников СО РАН разработали способ, который позволяет с высокой точностью исследовать материалы, применяемые в нанотехнологиях. Новый метод объединяет оптический спектральный анализ с атомно-силовой микроскопией и дает возможность изучать не только рельеф, но и химический состав вещества на уровне нанометров.