В Зеленограде построят оборудование для производства микроэлектроники

Российские исследователи из Института ядерной физики имени Г.И. Будкера (ИЯФ) СО РАН в Зеленограде планируют создать опытный образец ионного ускорителя и технологический накопительный комплекс для производства микроэлектроники. Об этом сообщил ТАСС директор института Павел Логачев. Накопительный комплекс будет использоваться для создания, тестирования и применения литографов, необходимых для производства микросхем. В 1990-1991 годах ИЯФ СО РАН уже создавал комплекс, который не был запущен из-за распада СССР, однако ученые планируют восстановить его за три года. Создание ТНК с нуля стоило бы около 10 миллиардов рублей, а на восстановление потребуется полмиллиарда рублей. В рамках проекта также будет создан промышленный ускоритель ионов для отечественного имплантора, который будет вводить необходимые химические элементы в пластину полупроводника на нужную глубину для создания микросхем. Опытный образец установки будет изготовлен за три года. Финансирование проекта будет осуществляться из разных источников, включая Минпромторг РФ, Курчатовский институт и правительство Москвы. Цель проекта - создать отечественную технологическую цепочку для производства микроэлектроники и сделать полностью отечественное оборудование для этой отрасли.